Resist composition, compound, polymeric compound and method of forming resist pattern

레지스트 조성물, 화합물, 고분자 화합물 및 레지스트 패턴 형성 방법

Abstract

하기 화합물 (m0) 을 함유하는 레지스트 조성물. [식 (m0) 중, Rb 1 은 전자 흡인성기이고, Rb 2 , Rb 3 은 각각 독립적으로 치환기를 가지고 있어도 되는 아릴기, 알킬기 또는 알케닐기를 나타내고, Rb 2 와 Rb 3 은 서로 결합하여 식 중의 황 원자와 함께 고리를 형성해도 된다. X0 - 는 1 가의 카운터 아니온이다.]

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